一种基于 MEMS 的智能服装及其制作方法

发明专利/实用新型/：发明授权

简介：本发明公开了一种基于 MEMS 的智能服装及其制备方法，可用于采集心电、心音等人体生理参数，该智能服装的功能是通过将柔性传感器阵列薄膜与纺织品整合的方式来实现的：首先，在晶圆上采用MEMS 技术分别制作出声/电换能器及其电气互联结构。其次，在晶圆的反面刻蚀出硅岛图形，使得每个传感器之间相互孤立。再次，在晶圆的正反面旋涂上聚合物，并对其进行光刻图形化出传感器窗口以及缝纫孔，即得到柔性传感器阵列薄膜。聚合物起到对传感器的保护作用，缝纫孔可用于让导电纤维将传感器传感器阵列薄膜与纺织品缝合于一体，即得到有特定功能的智能服装。本发明采用 MEMS 制作工艺，重复性好，可靠性高，可大批量制造，成本较低，具有广泛的应用前景。

完成人：刘胜、张鸿海、蒙茂洲、徐涌、甘志银

科技成果转移转化：

华中科技大学温州先进制造技术研究院  温州市智能制造研究院

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