一种超精密工作台

发明专利/实用新型/：发明授权

简介：本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移

工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与

宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿 X 向、Y 向移动。微位移工

作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施

加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压

电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可

以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发

明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。

完成人：陈学东、李巍、罗欣、李小平

科技成果转移转化：

华中科技大学温州先进制造技术研究院  温州市智能制造研究院

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